布魯克Bruker JVX7300HR 半導體計量儀
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簡介：強大的JVX7300HR是一個先進的布魯克Bruker JVX7300HR 半導體計量儀。布魯克Bruker JVX7300HR 半導體計量儀包含了專利FastHRXRD FastXRR，監(jiān)控性能優(yōu)越。JVX7300HR是廣泛應用于工業(yè)監(jiān)控...
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- 產(chǎn)品介紹
布魯克Bruker JVX7300HR 半導體計量儀包含了專利FastHRXRD FastXRR，監(jiān)控性能優(yōu)越。布魯克Bruker JVX7300HR 半導體計量儀是廣泛應用于工業(yè)監(jiān)控的儀器。通過使用HRXRD和XRR頻道、組合、放松、應變和單個和多個層的厚度epi電影可以提取,甚至針對fd-soi和強迫癥墊。
測量和分析能力方面的最新進展允許如果應變測量的決心強迫癥墊。平行線的強迫癥墊有一系列長度等于test-pad大小與Si CD和鍺硅印刷是印刷在S / D的大小。這種形式代表結構相關的設備測量通道的壓力。FastXRR可以用來衡量個人堆棧中的每個超薄層厚度和密度。這可以用于high-K /金屬門的過程,用一個測量覆蓋每一層。
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